Сам процесс и оборудование для напыления нитрида титана, нитридом хрома карбидом титана или карбидом хрома на изделия может состоять из следующих элементов:

1. Источника ионизации, который создает плазму, необходимую для напыления покрытия. Обычно используется высокочастотный генератор, который создает электрический разряд в газовой среде.

2. Камеры напыления, в которой находятся элементы для покрытия и газовая среда. Камера заполнена инертным газом, как правило, аргоном или азотом. Газовая среда в камере подвергается воздействию высокочастотного электрического поля, что приводит к ионизации газа и образованию плазмы.

3. Катода из титана, хрома и других металлов, которые используется для извлечения ионов и напыления покрытия на изделия. Нитрид титана или нитрид хрома, или карбид титана или карбид хрома конденсируется на поверхности элементов для покрытия в виде тонкой пленки.

4. В случае напыления нитридом титана (придающего изделиям золотой вид) ионы титана реагируют с азотом, находящимся в газовой среде, и образуют нитрид титана.

5. Процесс продолжается до достижения желаемой толщины покрытия.

Физико-химические свойства напыленного на изделия нитрида титана включают высокую твердость, износостойкость, стойкость к коррозии и химическим реагентам, а также низкий коэффициент трения, вот поэтому эти технологии так часто используют для упрочнения сверл и т.д.. Эти свойства делают нитрид титана идеальным материалом для использования в различных областях промышленности и производства. Ну и, конечно же, в малой архитектуре напыление нитридом титана или другие его соединениями, такие как карбид титана очень востребованы в последние десятилетия.

Данные виды работ напыление могут быть произведены в разных типах камер.